Oil-free High Vacuum Exhaust System คือระบบที่ใช้ในการกำจัดก๊าซหรือไอเสียออกจากพื้นที่หรืออุปกรณ์ที่ทำงานภายใต้สภาพสุญญากาศสูง โดยไม่ใช้น้ำมันในการหล่อลื่นหรือการทำงาน ระบบนี้ถูกออกแบบมาเพื่อให้สามารถสร้างและรักษาสภาพสุญญากาศสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพและสะอาด ปราศจากการปนเปื้อนจากน้ำมัน
VTC-080-...